加工品の精度

   表面粗さ  Sa Ra (算術平均粗さ) 1 nm 程度

   寸法公差  ± 1 ~ 2 μm 程度

     (材質・形状・数量 等 条件によります)

製品

   半導体製造装置・検査装置の部品等  精密部品

   研究開発関連試料