◆ 加工品の精度

　　　表面粗さ　　Sa　Ra　(算術平均粗さ)　1 nm　程度

　　　寸法公差　　± 1 ～ 2 μm　程度

　　　 　(材質・形状・数量 等 条件によります)

◆ 製品

　　　研究開発関連試料、試験片

　　　半導体製造装置、検査装置等の精密部品